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中高壓型質量流量計和控制器

 


V10FC-M/HC型MFC外觀圖

 

產品簡介

    V10FC中高壓型采用全不銹鋼傳感器,適合于測量各種與316不銹鋼兼容的氣體。V10FC采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,可以同時顯示和輸出:瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時,還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID調節功能。
   顯示器、鍵盤、通訊和多變量輸出均是標準配置,具有手操器/顯示儀/積算儀的全部功能。通過面板操作,可以完成以下內容:氣體選擇、單位選擇、量程設定,報警點設定,閥門狀態、自動校準等。
   與熱式流量計不同,當用氣體轉換系數時,V10FC沒有附加的“比熱容”誤差。所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。



產品應用

產品廣泛用于真空,鍍膜,太陽能,半導體,石油石化,煤炭冶金,制氣配氣,環保及各種分析儀器等。


V10FC-M/HM型MFC外觀圖

產品特點

● 通用型,適合10Mpa以下各種氣體測量
● 無熱漂移,可以忽略的溫移和時漂,長期穩定性0.1%F.S/年
● 準確度0.8%,量程可在100:1范圍內按鍵設定,無需標定
● 瞬時和累計流量、壓力、溫度可同時顯示和輸出
● 無需預熱,測量時無響應滯后
● 內置31種氣體轉換系數,無比熱容附加誤差,不影響精度
● 自動累計,分段累計功能

 

 

 

技術指標

V10FC-M/HC質量流量控制器

V10FC-M/HC質量流量計

量程范圍

小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~250SLM

控制范圍

控制器50:1

流量計100:1

準 確 度

流量:±0.8%讀數±0.2%滿量程

可選±0.4%讀數±0.2%滿量程

壓力:0.5%F.S 溫度:±1℃

線 性

±0.5%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時間

100ms

10ms

數 字 量

RS232/485,MODBUS協議

模 擬 量

0~5V、4~20mA、1~5V

供電

12V/24V/±15V可選

工作溫度

0~50℃

工作壓力

工作壓差:0.03~0.5MPa

工作壓降:<0.01Mpa

最大耐壓

中壓3MPa,高壓10MPa

電氣連接

DB15孔

漏 率

1×10-9SCCSHe

溫度系數

±0.015%F.S/℃

底座材質

316L

密封材料

氟橡膠,氯丁橡膠,丁晴橡膠

接 頭

VCR1/4;swagelokφ6

 

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